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微波电子回旋共振等离子体CVD设备

微波电子回旋共振等离子体CVD设备

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微波电子回旋共振等离子体CVD设备

微波电子回旋共振等离子体CVD设备是由清华大学电子工程系完成的科技成果,登记于1993年10月31日。

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