NBL电子束曝光系统-酷酷问问

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NBL电子束曝光系统

电子束曝光技术是光刻技术的延伸，是指利用某些有机聚合物对电子敏感的特性，将其加工成精细掩模图形的曝光技术。它是近些年才发展起来的集电子光学，精密机械，超高真空，计算机自动控制技术于一体的新兴技术。

NBL 电子束曝光系统，是基于SEM电子束曝光系统的，它主要由主机、逻辑电路、高压电柜、触摸控制四个部分组成。

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