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微型传感器

微型传感器

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微型传感器

《微型传感器》所涉及的微传感器,是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。全书共分10章:引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。

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